Neuchotest3D-Profilometer
Chotest SuperView W1 — 3D-Profilometer
Optisches 3D-Oberflächenprofilometer für die Präzisionsmessung. Misst Oberflächenrauheit und -profile in Halbleiter-, Elektronik-, Präzisionsbearbeitungs-, Optik- und Mikro-Nano-Materialien. Verfügbar in 4 Varianten: W1 (Standard), W1-pro (größerer Tisch), W1-Ultra (schnelleres Scanning), W1-Lite (kompakt). Oberflächenform-Wiederholgenauigkeit von 0,1 nm.
Merkmale
- Weißlicht-LED-Interferometrie
- 1024x1024 Videosystem
- Oberflächenform-Wiederholgenauigkeit: 0,1 nm
- Rauheits-RMS-Wiederholgenauigkeit: 0,005 nm
- Schichthöhen-Genauigkeit: 0,3%
- Motorisierter XY-Tisch: bis 320x200 mm
- Standard 10X Objektiv (optional: 2,5X bis 100X)
- 4 Varianten: W1, W1-pro, W1-Ultra, W1-Lite
Technische Daten
| Lichtquelle | Weiße LED |
| Videosystem | 1024 x 1024 |
| Standardobjektiv | 10X (optional: 2,5X, 5X, 20X, 50X, 100X) |
| Standard-Sichtfeld | 0,98 x 0,98 mm |
| XY-Tisch | 220x220 mm bis 320x200 mm |
| Z-Achse | 50–100 mm Verfahrweg |
| Neigung | ±3° bis ±5° |
| Form-Wiederholgenauigkeit | 0,1 nm |
| Rauheit-RMS-Wiederholgenauigkeit | 0,005 nm |
| Scan-Geschwindigkeit (0,1 nm) | 1,85 µm/s (W1-Ultra: 8 µm/s) |
