| Hersteller | Chotest |
|---|
| Modell Nr. | SJ5718-PR | ||
|---|---|---|---|
| Verfahrbereich | X | 0~100mm | |
| Z | 0~300mm | ||
| Größe (L×B×H) | 600×350×890mm | ||
| Gewicht | 115Kg | ||
| Profilmessung (SJ5718-P) | |||
| Messbereich | Z1 | ±30mm | |
| Auflösung | 0.001um | ||
| Anzeigefehler | X | ±(0.6+0.02L)μm(L, mm) | |
| Z1 | ±(0.6+0.05H)μm(H, mm) | ||
| Standardkugel | ≤(1,2+R/15)μm(R, mm) | ||
| Winkelfehler | ≤±1′ | ||
| Bewegungsgeschwindigkeit | X | 0~20mm/s | |
| Z | 0~20mm/s | ||
| Abtastgeschwindigkeit | 0.05~5mm/s | ||
| Maximale Neigung | Bergauf 77°, bergab 88° | ||
| Geradheit | ≤1μm/200mm | ||
| Abtastkraft | 30mN einstellbar | ||
| Rauheitsmessung (SJ5718-R) | |||
| Messbereich | Z0 | ±400μm (Optional: ±1000μm) | |
| Sensortyp | Schienenlos | ||
| Ra-Bereich | Ra0.1μm~Ra64μm | ||
| Abtastkraft | 1mN | ||
| Auflösung | 0.001um | ||
| Anzeigefehler | ≤±(5nm+2.5%A)μm, A(Ra)μm | ||
| Wiederholbarkeit | ≤1nm | ||
| Abtastgeschwindigkeit | 0.05~0.5mm/s | ||
| Messabweichung | ≤0.005μm | ||
| Rauheitsparameter | R Rauheit: Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku,RSm,RPc,Rdq, Rdc,Rmr, Rmax, Rpm,tp,Htp,Pc,Rda,Ry,Sm,S,Rpc,RzJ; Schlüsselrauheit: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo; Profil: Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Pdc,Pc,PPc,Pmr,Rad,PzJ,Pmax; Welligkeit des Profils: Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc, Wmr,Wpc,Wc; Motiv: R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte; | ||
| Filter | 2RC-Filterung, Gauß-Filterung und Nullphasen-Filterung | ||
| Abtastlänge | 0.008, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8.0 oder 25mm auswählbar | ||
| Auswertungslänge | Automatische Berechnung | ||
| Schichtdickenmessung | Messbereich | 60μm oder weniger | |
| Messgenauigkeit | 2% H (H ist die Messhöhe in μm) | ||
